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ApexR02p |
ApexR03p |
ApexR05p |
ApexR3p |
ApexR5p |
最小測定粒子サイズ |
0.2μm |
0.3μm |
0.5μm |
0.3μm |
0.5μm |
標準計数2チャンネル |
0.2/0.3μm |
0.3/0.5μm |
0.5/5.0μm |
0.3/0.5μm |
0.5/5.0μm |
オプション4チャンネル |
0.2/0.3/0.5/1.0μm |
0.3/0.5/1.0/5.0μm |
0.5/1.0/5.0/10μm |
0.3/0.5/1.0/5.0μm |
0.5/1.0/5.0/10μm |
追加可チャンネル(サイズ) |
0.2/0.3/0.5/0.7
/1.0/2.0μm |
0.3/0.5/0.7/1.0
/3.0/5.0μm |
0.5/0.7/1.0/3.0
/5.0/7.0/10.0μm |
0.3/0.5/0.7/1.0
/3.0/5.0μm |
0.5/0.7/1.0/3.0
/5.0/7.0/10.0μm |
サンプリング流量 |
0.1 CFM (2.83ℓ/分) |
1.0 CFM (28.3ℓ/分) |
通信 |
Ethernet、またはSerial |
Modbus Protocols |
TCP、またはRTU、またはASCII |
Web Browser |
ウェブ ブラウザからリモートアクセス |
データストレージ |
3000サンプリング |
自己診断機能 |
レーザーパワーサプライ、レーザー電流、レーザーパワー、光検出器パワーサプライ、背景電圧、光検出器診断 |
Validation Mode |
対応 |
アラームLED灯 |
装備 |
筐体 |
316L Stainless Steel |
電源 |
24V DC 25W |
24V DC 120W |
内蔵バキュームポンプ |
排気HEPAフィルタ付 0.1 CFMポンプ |
排気口HEPAフィルタ付 1.0 CFMポンプ |
レーザー光源 |
レーザーダイオード |
キャリブレーション |
ISO 21501-4準拠設計 |
Zero Count Level
(偽計数) |
<1 count/5分( ISO 21501-4準拠) |
最大粒子濃度 |
ISOクリーンルームクラス1-8適合の
4百万粒子/ft³@ 10%(137百万/m3)
コインシデンスロス |
ISOクリーンルームクラス1-8適合の
百万粒子/ft³@10%(34百万/m3)
コインシデンスロス |
計数効率 |
0.2μmで50%、
0.3-0.4μmで100% |
0.3μmで50%、
0.45-0.6μmで100% |
0.5μmで50%、
0.75-1.0μmで100% |
0.3μmで50%、
0.45-0.6μmで100% |
0.5μmで50%、
0.75-1.0μmで100% |