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右画像をクリックすると拡大写真がご覧頂けます。 |
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ApexR3 |
ApexR5 |
ApexR02 |
ApexR03 |
ApexR05 |
測定最小粒子サイズ |
0.3μm |
0.5μm |
0.2μm |
0.3μm |
0.5μm |
標準計数チャンネル |
0.3/0.5μm(2ch) |
0.5/5,0μm(2ch) |
0.2/0.3μm(2ch) |
0.3/0.5μm(2ch) |
0.5/5.0μm(2ch) |
オプション計数チャンネル |
0.3/0.5/1.0
/5.0μm(4ch |
0.5/1.0/5.0
/10.0μm(4ch) |
0.2/0.3/0.5
/1.0μm(4ch) |
0.3/0.5/1.0
/5.0μm(4ch) |
0.5/1.0/5.0
/10.0μm(4ch) |
追加計数チャンネル |
0.3/0.5/0.7/1.0
/3.0/5.0μm |
0.5/0.7/1.0/3.0
/5.0/7.0/10.0μm |
0.2/0.3/0.5/0.7
/1.0/2.0μm |
0.3/0.5/0.7/1.0
/3.0/5.0μm |
0.5/0.7/1.0/3.0
/5.0/7.0/10.0μm |
サンプリング流量 |
1.0 CFM (28.3 ㍑/分) |
0.1 CFM (2.83 ㍑/分) |
通信 |
イーサーネット 又は シリアル Modbusプロトコル TCP、RTU、ASCII |
Web Server |
ウェブ ブラウザでリモートアクセス |
計数効率 |
その最小粒子サイズで50%、 その粒子サイズの1.5~2.0倍以上で100% |
レ-ザー光源 |
レーザーダイオード(ISO 21501-4準拠の設計) |
Zero Count Level
(偽計数) |
<1 count/5分(ISO 21501-4準拠) |
最大粒子濃度 |
百万粒子/ ft³(34百万/㎥)@ 10% コインシデンスロス ISOクラス1~8クリーンルームに適応 |
4百万粒子/ ft³(137百万/㎥)@ 10% コインシデンスロス
ISOクラス1~8クリーンルームに適応 |
キャリブレーション |
ISO 21501-4準拠で設計 |
バキューム源 |
要外部真空源、名目1.0 CFM(28.3 ㍑/分) 18" (45.72cm)Hg |
自己診断 |
レーザーパワーサプライ、レーザー電流、レーザーパワー、フォトディテクターパワーサプライ、
バックグラウンド電圧、フォトディテクターの調子 |
バリデーションモード |
対応
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LED警告灯 |
パワー、フロー、サービス、サンプリング |
サポートソフトウエア |
LMS Express、LMSLMS Express RT、LMS Phama |
筐体 |
304ステンレススチール |
電源 |
24 VDC、PoE、 |
データストレージレコード |
3,000 records |
環境条件 |
操作環境 |
50°F~104°F (10℃~40℃)/ 20%~95% 無結露 |
ストレージ環境 |
14°F~122°F (-10℃~50℃)/ 最大98% 無結露 |
アクセサリー |
オプション品 |
ソフトウエア:LMS Express、LMS Express RT、LMS Phama
有機LEDディスプレイ
Smart Bracket(3種類:寸法は下図)
(下図をクリックすると拡大図がご覧頂けます。) |
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