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外部Vacuum源が必要なタイプ |
Vacuum Pump内蔵タイプ |
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流量 1.0CFM(28.3ℓ/分) |
流量 0.1CFM(2.83ℓ/分) |
流量 1.0CFM(28.3ℓ/分) |
流量 0.1CFM(2.83ℓ/分) |
最小サイズ
0.1 μm |
Model: Remote 1104LD
0.1~1.0μm |
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最小サイズ
0.2 μm |
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Model: Apex R02
0.2~2.0μm |
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Model: Apex R02p
0.2~2.0μm |
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最小サイズ
0.3 μm |
Model: Apex R3
0.3~10.0μm |
Model: Apex R03
0.3~2.0μm |
Model: Apex R3p
0.3~5.0μm |
Model: Apex R03p
0.3~5.0μm |
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最小サイズ
0.5 μm |
Model: Apex R5
0.5~10.0μm |
Model: Apex R05
0.5~10.0μm |
Model: Apex R5p
0.5~10.0μm |
Model: Apex R05p
0.5~10.0μm |
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最小サイズ
5.0 μm |
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Model: Apex RBp
5.0~100.0μm |
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